曝光用紫外线灯功率12KW

ORC制作所自1968年创业已来，立足于专门制造「光」，贡献于多个领域。用常年培育的技术力，满足客户需求，取得客户信赖。以光技术应用，先进的紫外线灯为支柱，面向电路板，液晶显示产业，半导体光刻设备，检查设备展开。

紫外线灯种类包含：超高压UV灯，高压UV灯，低压UV灯，金属卤化物灯，短弧灯等晶圆制造工程用UV照射装置・点灯用定电力／定照度电源，光照度计・光量计。

品质：1997年 6月7日 取得 ISO-9001认证(BVJC) 

环境：1998年12月4日 取得 ISO-14001认证(BVJC)  紫外线消毒标准，超高压汞灯、金属卤素灯，工业用灯选择。曝光用紫外线灯功率12KW

i线步进式光刻机NSR-SF150适用于半导体器件的制造。性能：Resolution分辨率≦280nm，Exposure light source曝光光源i-line(365nmwavelength)，Reductionratio缩小倍率1:4Maximumexposurefield，曝光范围26mm×33mm，Throughput产出≧200wafers/hour(300mmwafer,76shots),也可用于200mmwafer。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时200片以上300mm晶圆的高产出。●超高产出采用了适于步进式光刻机的新平台“天钩构造”，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小时200片以上300mm晶圆的超高产出。高重合精度采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了空调管路，有利于工作室内的散热。使用ORC制作所生产的7.5KW超高压汞灯，对应型号：NLi-7500AL2。OSRAM紫外线灯i线步进式光刻机NSR-2005i11,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001AL。

于2005年开始，使用尼康Nikon i-line步进式光刻机，型号：NSR-SF140,分辨率≤280nm。这是一种具有高吞吐量和极低拥有成本的扫描场i线步进器。

客户可以将NSR-SF140用于大规模生产下一代存储器和微处理器的非关键层。NSR-SF140可提高生产率并提高镜头性能。光源和透镜热管理得到了改进，在典型的生产应用中（即剂量=200mJ/cm2，300mm晶片上的76次曝光）。

光刻设备中光源为紫外线I线，波长为365nm，功率为7.5KW,对应型号为NLi-7500AL2,是日本ORC生产。

光源制作工厂给出寿命时间1500Hr，照度保证时间1500Hr的承诺。

使用步进式光刻机型号：NSR-SF140,NSR-SF150,NSR-SF155；

分辨率为1.5μm的“fx-903m”尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。包括生产率比原机型提高10％的“fx-803m”以及分辨率增至1.5μm的“fx-903m”。支持手机及车载用中小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化。计划4月开始受理订单。采用步进曝光方式，使用尺寸150mm×150mm、厚度约6mm的光罩，可实现高精度的对准曝光。“fx-903m”通过增大i线镜头的直径、降低像差，实现了1.5μm的分辨率。30个镜头的制程时间均为61秒。另外，在用于便携设备的平板显示器（fpd）技术方面，i线步进式光刻机NSR-2205i11 SHRINC3,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2002A-1。

强紫外线高压汞灯由石英管材制造而成，使紫外线能高程度及大量的穿透，其弧长度/发光长度可由5厘米至300厘米不等，常见功率为每厘米30W至200W，超大功率UV灯一般在每厘米200W或以上操作，该灯光谱有效范围在350-450nm之间，主波峰为365nm，功率由100w-25kw. UV固化在英文中称UV Curing 或 UV Coating，UV固化是光化学反应，即液态的UV照射可固化材料经印刷或涂布到承印物或工件表面，经UV光线照射实现硬化的过程，UV固化与传统的干燥过程相似，但原理不同，传统的干燥一般借助于涂敷材料中溶剂的挥发而形成硬化，而UV固化交联则无溶剂挥发。i线步进式光刻机NSR-4425i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2501A。ORC紫外线灯12KW

i线步进式光刻机NSR-2005i8用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率:2KW,型号：NLi-2000A-1。曝光用紫外线灯功率12KW

小型・軽量で、受光部と本体が一体になったハンディタイプの計測器です。UV露光装置とUVコンベヤーのいずれにも対応した測定器です。露光装置、UVコンベヤー等の照度と光量の管理ができます。小型、軽量、薄型な、ハンディタイプです。機種は、用途に合わせてUV-351（UV-SD35相当）、UV-351-25（UV-SD25相当）、UV-351-42（UV-SD42相当）からお選びいただけます。光量測定、照度測定、ピーク照度測定など、各種の測定モードを選択できます。メタル・ボディで熱に強く、堅牢な構造です。曝光用紫外线灯功率12KW